氧化炉

氧化炉

一、设备简介 氧化炉是用于半导体加工中在高温环境下对所加工器件进行氧化工艺的一种高温热处理设备,广泛用于集成电路、分立器件、太阳能光伏等行业。 二、主要技术指标(全...

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