立式真空太阳能扩散炉

 扩散炉     |      2019-07-22 19:23


一、 设备简介
立式扩散炉,又称:立式真空扩散炉、立式太阳能扩散炉、立式微控扩散炉,为我公司根据客户需求定制的立式微控太阳能电池专用设备,用于太阳能电池片生产过程中对硅片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,该设备具有:关键部件进口、自动化程度高、温度均匀、控制稳定等特点,是理想的科研及生产设备。

二、 主要技术指标(全部指标可定制)
1、外型形式:单管立式
2、硅片尺寸:156*156方片
3、装片量:
单次可装载25片156*156方形硅片,背靠背装片模式
4、额定工作温度:1200℃
5、工艺管:优质气炼石英管
6、石英舟:立式石英舟
7、恒温区长度:300mm
8、恒温区精度:±0.5℃ /300mm
9、单点温度稳定性、重复性:±0.5℃ /300mm
10、加热器:可移动式加热器,加热器及石英管可自动升降
11、送取片方式:手动送取片
12、扩散方式:设备配置真空系统,支持负压扩散方式
13、温度控制:日本原装 RKC 控温仪,三段控温方式
14、热偶:spike + profile 双热偶控温方式
15、加热元件:瑞典康泰尔电阻丝
16、气路:N 2 、O 2 、H 2 三路气体,气路管道为316L 耐腐蚀内抛光不锈钢管。
17、流量计:进口 MKS 质量流量计
18、气路系统密封性:1×10-7 Pa·M3 /S
19、真空系统:旋片真空泵
20、极限真空度:1.0*10-1 Pa
21、压升率:≤0.7Pa/h
22、真空计:德国品牌真空计
23、控制系统:PLC+触摸屏控制方式,自动/手动切换方便,温度、流量按工艺自动调节
24、报警及保护:系统设有超温报警及保护、断偶报警及保护、真空系统阀门互锁保护、缺水报警及保护
25、尾气处理:设备配备尾气处理系统,采用溶液吸收法吸收尾气中的有害成分
26、冷水系统:设备配备冷水系统,用于保护密封装置及冷却加热器外壳