卧式微控单管扩散炉

 扩散炉     |      2019-07-22 19:23
一、设备简介
单管扩散炉,又称:单管太阳能扩散炉、单管卧式扩散炉,为我公司根据客户需求专业定制的真空气氛热处理设备,主要用于氮化硅镀膜、陶瓷电容器(MLCC)气氛烧结及退火等工艺。本设备具有:关键部件进口、温度均匀、控制稳定等特点,是理想的科研及生产设备。
 
二、主要技术指标
1、外型形式:单管卧式
2、加热器形式:固定式加热器(或移动式加热器)
3、加热元件:电阻丝
4、工艺管材质:石英
5、最高工作温度:1050℃
6、持续工作温度:1000℃
7、升温速度:1-15℃/min
8、控温精度:±1℃
9、炉管尺寸:定制
10、加热段数:3段
11、恒温区长度:300mm
12、最大加热功率20KW,保温功率10KW
13、反射板:产品与炉口之间有数层反射板,以减少高温对炉口的热辐射
14、气路:O2、N2O
15、流量计:浮子流量计
16、真空系统:旋片真空泵
17、极限真空度:1.0*10-1Pa
18、最大充气正压:20KPa
19、真空压力表:指针压力表
20、温控系统:日本岛电9段可编程温控仪
21、控制方式:调功调压
22、密封系统冷却方式:水冷
23、报警及保护:系统设有超温报警及保护、断偶报警及保护、真空系统阀门互锁保护、缺水报警及保护装置