四管太阳能扩散炉

 扩散炉     |      2019-07-22 19:23


一、设备简介
扩散炉
,也称:退火炉、氧化炉,是半导体加工中的关键设备,用于集成电路、分立器件、太阳能光伏等行业中进行:扩散、氧化、退火、合金等工艺。扩散炉是我公司的成熟产品,目前我司已为:中科院宁波材料所、长春光机所、苏州纳米所、清华、华东理工、东华理工、合肥工大、河北科大、京运通股份有限公司等多家科研院所及大、中、小型公司提供多种用途的扩散炉,我公司定制的扩散炉结构方式不同分为:立式扩散炉和卧式扩散炉两种,可根据客户的使用需要制作为:单管、双管、三管和四管扩散炉。
 
二、产品特点
1、关键部件全部采用进口件,具有很高的可靠性。
2、采用PLC作为控制主机,对炉温、气体流量、阀门动作进行自动控制,并管理全部工艺程序。
3、具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置。
4、具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。
5、控温精度好,温区控温稳定性好。
6、新型炉体设计结构,保证工艺过程中温区温度的快速稳定,更适合于连续性大规模生产。
 
三、主要技术指标(全部指标可定制)
1、外型形式:卧式、立式
2、工艺管数量:1-4管/台
3、工艺管外径:2-8英寸
4、恒温区长度:300-1000mm  
5、工作温度范围:400-1300℃
6、恒温区精度:800-1300℃±0.5℃,300-800℃±1.0℃
7、单点温度稳定性:800-1300℃  ±0.5℃/24h 
                  300-800℃  ±1.0℃/24h
8、最大可控升温速度:15℃/min
9、最大降温速度:5℃/min
10、温度控制:日本原装控温仪,多段控温
11、热偶:spike + profile 控温方式
12、加热元件:瑞典康泰尔电阻丝
13、扩散方式:可配置真空系统,支持负压扩散
14、送取片方式:手/自动送取片可选
15、悬臂舟参数:速    度:20-1000mm/min
                                 最大行程:2000mm
                                 定位精度:±1mm
                                 最大载荷:20Kg
16、气路:N2、O2、H2 等多路气体可选,气路管道为316L 内腐蚀不锈钢
17、流量计:进口 MKS 质量流量计
18、气路系统密封性:1×10-7Pa·M3/S
19、真空系统:无油真空泵 (选配)
20、极限真空度:1.0*10-1Pa
21、冷水系统:设备配备冷水系统,用于保护密封装置及冷却加热器外壳
22、尾气处理:设备配备尾气处理系统,采用溶液吸收法吸收尾气中的有害成分(选配)
23、超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)
                                 噪    音:≤62Db  
                                 震    动:≤3μm
24、报警及保护:超温报警及保护、断偶报警及保护、真空系统阀门互锁保护、缺水报警及保护
25、动力要求:供电电源:AC380V±10%、50H
                            总功率:30KW/管(依实际)、三相五线制
                            工艺气体压力:2~4Kg/cm,
                            冷却水:软化水