MOCVD真空烤盘炉

MOCVD真空烤盘炉

一、 设备简介 MOCVD真空烤盘炉,也称:真空烤盘炉或CVD烤盘炉,是LED 制造行业的一种新型的真空设备,与 MOCVD 设备配套使用,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用加热反应气...

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